真空滲氮是使用真空爐對(duì)鋼鐵零件進行整體加熱、充入少量氣體,在(zài)低壓狀態下產生活性氮原子滲入並向鋼中擴散而實現硬(yìng)化的;而(ér)離子滲氮(dàn)是靠暉光放電產生(shēng)的(de)活性N離子(zǐ)轟擊並僅加熱鋼鐵零件表麵,發生化學反應生(shēng)成核化物實現硬化的。
真空滲氛時,將真空爐排氣至較高真空度0.133Pa(1×10-3Torr)後,將工件升(shēng)至,530~560℃,同(tóng)時送入氨氣或NH3+CXHY+N2O複合氣(qì)體,並對各種氣體的送(sòng)入量進行(háng)精確控製,爐壓控(kòng)製在0.667Pa(5Torr),低壓狀(zhuàng)態能加快(kuài)工件表麵的氣體交換,活躍的N元素(或N,C)來(lái)自化學反應及NH3(或(huò)在處理(lǐ)溫度500-570℃NH3和CXHY的裂解),保溫3~5h後,用爐內惰性氣體進行快速冷卻。不同的材質,經此處理後可(kě)得到滲層(céng)深為20~80μm、硬度為600~1500HV的硬化層。
真空滲氮有人(rén)稱為(wéi)真空排氣式氮碳共滲,其特點是通過真空技術,使金屬表麵活性化和清淨化。在加熱、保溫、冷卻(què)的整個熱處理過程中,不純的微量氣體被排出,含活性物質的純淨(jìng)複合氣體被送入,使表麵層相結構的調整和(hé)控製、質量的改善、效率的提高成為(wéi)可(kě)能(néng)。經X射線衍射分析證實,真空滲氮處理後,滲層中(zhōng)的化合(hé)物層是ε單相組織,沒有其他脆性(xìng)相(如Fe3C、Fe3O4)存在,所以硬度高(gāo),韌性好,分布也好。“白層”單相ε化合物層可達到(dào)的硬度和材質成分有關。材質中含Cr量越高,硬度(dù)也呈增加趨勢(shì)。Cr13%時,硬度可達到1200HV;含Cr18%(質量分數,餘同)時,硬度可達 1500HV;含Cr25%時,硬度可達1700HV。無脆性相的單相ε化合物層(céng)的耐磨性比氣體(tǐ)氮碳共(gòng)滲組織的耐磨性高,抗摩擦燒傷、抗(kàng)熱膠合、抗熔敷、抗熔損(sǔn)性能都很(hěn)優異。但該“白層”的(de)存在對有些模具和零件也有不利之處,易使鍛模在鍛造初期引起龜裂(liè),焊接修補時易生成針孔。真空滲氮還有一個優點,就是通(tōng)過對送入爐(lú)內的含活化物質的複合(hé)氣體的種類(lèi)和量的控製,可以得到幾乎(hū)沒有(yǒu)化合物層(白層),而隻有0.1-1mm擴散層的(de)組織。其原因可能是在真空爐排氣至 0.l33Pa(1×10-3Torr)後形成的,另一個原因是帶有活性物質(zhì)的複合氣體(tǐ)在短時間內向鋼中擴散形成的組織。這種組織的優點是耐熱衝擊性、抗龜裂(liè)性能優(yōu)異。因(yīn)而對實施(shī)高溫回火的熱(rè)作模具,如用高速鋼或4Cr4MoSiV(H13)鋼(gāng)製模具(jù)可(kě)以(yǐ)得到表麵硬度高、耐磨(mó)性好、耐熱衝擊性好、抗龜裂而又有韌性(xìng)的綜合性能;但僅有擴散層(céng)組織時,模具的抗咬合性(xìng)、耐熔敷、熔損性能不夠好。由於模具或機械零件的服役條(tiáo)件和對(duì)性能的要求不一,在進行表麵(miàn)熱處理時,必需調整表麵層的組織和性能。真空滲氮除(chú)應用於工模具外,對提高精密(mì)齒輪和要求耐磨(mó)耐蝕的機械零件以及彈簧等的性能都有明顯效果,可接受處理的材質也比較廣泛。
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