發展（zhǎn）最快、工業應用最廣的等離子體（tǐ）熱處理方法是等離（lí）子體化學熱處（chù）理。與常規化學熱（rè）處理相（xiàng）比，等離子體（tǐ）化學熱處理（lǐ）具有優質、高效、低耗、潔淨、無公害等特點。但是，此技術用於（yú）批量大的小模具及其他小零件(如螺栓、螺母、鏈條（tiáo）等（děng）)時，裝爐麻煩，滲層質（zhì）量不易控製。而且，同爐混裝不同形狀、尺寸的工件時，不易（yì）均勻控製工件溫度。

　　1．1離子滲碳

　　離子滲碳，亦稱輝（huī）光滲碳[l0-11]。滲碳是（shì）將價廉、具有良（liáng）好成型性和延展性的低碳（tàn）鋼或低碳合金鋼母體材料在碳基氣氛中加熱，使（shǐ）活性碳滲入母材而形成強韌、耐磨表（biǎo）麵的一種熱處理方（fāng）法。離子滲碳則在於活性碳是由碳氫化合物氣體在真空等離（lí）子區中，通過直流輝光放電電離而獲得，其原理（lǐ）與離子（zǐ）滲氮相似。

　　在國內，離（lí）子滲碳工藝已成（chéng）功應用於汽車、航空、核工業等的模具中。離子滲碳（tàn）的技術關鍵是滲層質量控製及設備（bèi）設（shè）計。離子滲碳時，可通過（guò）調節碳通量和滲碳時間來控製模具工（gōng）件表麵的預定碳含量。碳通量是氣體成分、氣壓、氣體流量、離子電流密度和滲碳（tàn）溫度的（de）函數。在工業生（shēng）產中，離子滲碳時，可利用碳的擴散（sàn）和傳輸數（shù）學模型，通過電流密（mì）度傳感器由微機進行全過程的工藝控（kòng）製，從而獲得預定的表麵（miàn）碳含量、碳分布和滲（shèn）層深（shēn）度。但離子滲碳（tàn）工藝溫度高(850～980℃)，要求電源功率大，易發生輝光放服裝設計學校電轉（zhuǎn）變為弧光放電的現象，使工藝不（bú）穩定，設備較複雜。目前，工業模具上普遍采用的氣體滲碳和（hé）真空滲碳工藝成（chéng）熟，質量穩定，能較好（hǎo）地滿足工（gōng）業模具（jù）的需要。與傳統的滲碳相比，離子滲碳具有以下優（yōu）點：滲碳效率高，表麵質量好，滲層分布均勻，變形小，環境汙染小，過程易實（shí）現自動化控製，深（shēn）孔盲（máng）孔也能處理等。在模具行業中，離子滲碳技術在衝模和塑料模中應用較（jiào）多。目前，在表麵硬化中，有80％以上是滲碳處（chù）理。因此，離子滲碳有著廣闊（kuò）的（de）發展前景。

　　1．2離子滲氮

　　離子滲氮是目前工業上應用最廣、最成熟的離子熱處理工藝[1-3]。該工藝易通過調（diào）整工藝參（cān）數(如電壓、電流、爐內氣體壓（yā）強、溫度、時間和工作氣體成分等)獲得純擴散層、單相、化合物層等。離子滲氮的技術關鍵是如何根據其特點，結合相關模具服役條件，合理選擇工藝參數，繼而獲得所需的（de）最（zuì）佳（jiā）滲層。

　　1．3離子碳-氮共滲（shèn）

　　離子滲碳氮技術是依靠爐氣活性組分C3H8和NH3在（zài）鋼表麵分解，析出的活性原子C和N被表麵吸收並向基體內部擴散而實現（xiàn）的[2，4]，它（tā）又稱離子軟氮（dàn）化，是從鹽浴和氣軟氮化發展而來的。離子滲碳氮的操作方法與離子滲氮基本（běn）相同（tóng），但工作氣（qì）體（tǐ）成分不同，其冷卻方式除在服裝設計（jì）學校真空條件下緩（huǎn）慢冷卻外，還可進行油淬或（huò）高壓氣淬。離子碳一氮共滲（shèn）時間短，效益高（gāo），可獲得較厚的化（huà）合物層，具有優（yōu）良（liáng）的耐（nài）磨、抗膠合和抗疲勞性能。與傳統工藝相比（bǐ），應用於（yú）模具的離子碳一（yī）氮共滲技術不僅具有滲層質量好、相組（zǔ）成容易控製的（de）優點，而且高效（xiào）、潔淨、節能。該工藝具有較強的市場競爭力。

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